超聲波清洗儀器的出現(xiàn)替代了常規(guī)的清洗方式，利用高中低頻不同的超聲波頻率劃分了多種用途的超聲波清洗機(jī)以提高清洗效率及清洗結(jié)果，那么高中低頻不同的超聲波頻率之間的清洗作用又有什么區(qū)別呢？

      超聲波是一種機(jī)械波，是機(jī)械振動(dòng)在媒質(zhì)中的傳播。當(dāng)超聲波在液體中傳播時(shí)，液體質(zhì)點(diǎn)受到聲波的擾動(dòng)后會(huì)在其平衡位置附近做微小振動(dòng)，液體質(zhì)點(diǎn)沒(méi)有宏觀上的移動(dòng)和遷移，但其振動(dòng)速度和加速度很大。例如聲強(qiáng)為1. 0W/cm2、頻率為20 kHz的超聲波在水中傳播(暫不考慮其非線性效應(yīng))，如果液體質(zhì)點(diǎn)位移振幅為5μm，則質(zhì)點(diǎn)要經(jīng)受壓力在正負(fù)1. 68atm之間以每秒2萬(wàn)次的重復(fù)頻率做周期性變化的作用，質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)速度約為0，63m/s，而振動(dòng)的加速度達(dá)到7.9X10*m/s' ，大約為重力加速度的8000倍。這樣激烈而快速變化的機(jī)械運(yùn)動(dòng)，于附著在固體表面的灰塵等不溶性固體顆粒，強(qiáng)大的剪切作用足以使固體顆粒從待清洗物體表面脫落，從而達(dá)到清洗的目的。

      當(dāng)超聲波的頻率增加到幾百千赫的高頻時(shí)，波長(zhǎng)短了，λ=0.7~1.5mm，聲場(chǎng)中質(zhì)點(diǎn)的稠密區(qū)與稀疏區(qū)界線模糊，液態(tài)聲場(chǎng)中空化現(xiàn)象幾乎消失，超聲能量表現(xiàn)為媒質(zhì)質(zhì)點(diǎn)加速度能量。例如在硅晶片及光刻清洗中，使用950 kHz超聲波，兩個(gè)波峰之間的時(shí)間僅為1. 05μs，不足以形成空化泡，但能量將達(dá)到重力加速度的10倍，兆級(jí)超聲波清洗體現(xiàn)在液態(tài)質(zhì)點(diǎn)對(duì)工件表面每秒95萬(wàn)次的精細(xì)擦洗上。這足以使清洗液迅速擴(kuò)散到基片(工件)與粒子(污物)之間，使工件表面水化，變得濕潤(rùn)。液膜作用如同尖劈，使粒子從基片脫落，同時(shí)液膜也進(jìn)一步 防止了粒子對(duì)基片的二次吸附，這對(duì)去除亞微米粒子很有效果。